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创建时间:2025-11-25 19:30

应用于3D表面分析的全息干涉仪研究项目

 

 

 

 

项目介绍

该项目将探索将纯相位硅基液晶(LCOS)技术集成到干涉仪中,以放宽其硬件光学系统的容差,该容限由计算机生成的全息图补偿,从而可降低设备成本。项目研究成果有望广泛适用于科学研究以及工业生产中各种表面检测场景,如光学元器件检测,集成电路检测,微机电装置检测以及生物细胞检测等。